真空閥門大致有兩種:一（yī）種（zhǒng）是關閉後隔絕大氣和真空空間的開關形閥門,另一種是調整通氣（qì）量的流量可變（biàn）閥門。後者在導入氣體之類的設備上（shàng）使用。    

    一般而言的真空閥門是指開關（guān）氣（qì）路閥門。閥門的基本功能是在關閉時（shí）確實隔絕大氣（qì）和真空空間。

   (1)真空閥門的基本結構

(1)閥門封口部,

(2)傳動軸,

(3)外罩（zhào）封口（kǒu）部。

根據三個（gè）部分的構造不同,被利用（yòng）在不同的真空領域。

   (2) 閥（fá）門的形式

    閥門大體有四（sì）種形式,即角閥,蝶閥,直通（tōng）閥和閘（zhá）閥。各種閥門根據應（yīng）用的真空領域而（ér）選定

   (3) 閥門（mén）的驅動

    閥門的驅動有手動和自（zì）動兩種。自動閥門以壓縮空（kōng）氣驅動為主,一部分（fèn）小型閥門通過電（diàn）磁鐵來驅（qū）動。

    2.流量可變閥門（mén）

    流（liú）量可變閥門（mén）主要應（yīng）用於控製（zhì）向真空容器內氣體導入（rù）量和控製有效排氣速度（dù）。

   (1)氣（qì）體導入閥門

    閥門,通過控製無氧銅和超硬合金接觸麵（miàn）的氣體導通率來控製氣體流（liú）量,信賴性高。流量（liàng）可變閥門由金屬構成,可以（yǐ）烘烤也可以切斷氣（qì）體導入。

    (2)流通量可變閥（fá）門

    這種（zhǒng）閥（fá）門被安裝在真空腔和（hé）排氣（qì）泵之間,通過調節氣體（tǐ）導通率來調節排氣速度。相片1是蝶形（xíng）閥門,通過活（huó）塞角度的變化調節氣體導通率。