真空閥門大致有兩（liǎng）種:一種是關閉後隔絕大氣和真空空間的開關形閥門,另一（yī）種是調（diào）整通氣量的流量可變閥門。後者在導入氣體之類的設（shè）備上使用。    

    一般而言的真空閥門是指開關氣路閥（fá）門。閥門的基本功能是在關閉時確實隔絕（jué）大氣和真空空間。

   (1)真空閥（fá）門的基本結構（gòu）

(1)閥門封口部,

(2)傳動軸,

(3)外罩封口部。

根據三個部分的構造不同,被利（lì）用在不同的真空領域。

   (2) 閥門的形式

    閥門大體（tǐ）有四種形式,即角閥,蝶閥,直通閥（fá）和閘閥（fá）。各種閥門根據應用的真空（kōng）領域（yù）而選定

   (3) 閥門的驅動

    閥門的（de）驅動有手動和自動兩種。自動閥門以壓縮空氣驅動為主,一部分小型閥門通過電磁鐵來驅動。

    2.流量可變（biàn）閥門

    流量可變閥門主要應用於控製向真空（kōng）容器內氣體（tǐ）導入量和控製有效排氣速度。

   (1)氣體導入閥門

    閥（fá）門,通過控製無氧銅（tóng）和（hé）超硬合金接觸麵的氣體導通（tōng）率（lǜ）來控製氣體（tǐ）流量,信（xìn）賴性高。流量可變閥門（mén）由金屬構成,可以烘（hōng）烤也（yě）可以（yǐ）切斷氣體導入。

    (2)流通量可變閥門（mén）

    這種閥門被安裝在真空腔和排（pái）氣泵之間,通過調節氣體導通率來調節排氣速度。相片1是蝶形閥門,通過活塞角度的（de）變化調節氣（qì）體導通率（lǜ）。